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申请号 专利名称 专利状态 申请日 缴费截止日 授权日 更新日
2022108358067 发明 一种高精度半导体晶圆片外径研磨装置 【特价】 【无优惠】
半导体 集成电路 电子设备 芯片 射频器件 晶圆 多晶硅 【 半导体 集成电路 电子设备 芯片 射频器件 晶圆 多晶硅 】 1人
B24B37/02 B24B37/11 B24B37/27 B24B37/34
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