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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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202111009384X |
发明
一种锡掺杂氧化铟纳米阵列及其制备方法
微电子 薄膜 半导体材料 导电材料 半导体微电子 太阳能电池 透明晶体管 集成功能器件 【微电子 薄膜 半导体材料 导电材料 半导体微电子 太阳能光伏电池 透明晶体管 集成功能器件】 1人 C03C17/23 G03F7/20 H01L21/02 |
已下证 |
