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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2021105148166 |
发明
一种量子芯片封装设备及其封装工艺
2人 H01L21/60 H01L21/66 H01L21/67 H01L21/677 |
授权未下证 | ||||
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202220957549X |
实用
一种用于探针机的晶圆承载台
晶圆承载台 探针台 半导体 光电 集成电器 1人 G01R1/04 G01R31/28 H01L21/66 H01L21/687 |
已下证 |
