|
|
申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
201810485537X |
发明
基于激光超声技术的硅基内部微结构成型的控制方法
微纳米 微机电 谐振器 半导体材料 （微纳米 半导体材料） （纳米材料 复合材料 动力学） 1人 B23K26/55 |
已下证 |
