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申请号 专利名称 专利状态 申请日 缴费截止日 授权日 更新日
201911011147X 发明 一种高精度激光干涉仪【特价】
光学测量 激光测量 波长测量 精密测量 激光干涉仪 光学精密测量 激光干涉仪 1人
G01B9/02
授权未下证
2015108524300 发明 采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法
精密测试 激光器 激光测量 定位检测 精密仪器 激光干涉仪 精密测量 线纹尺 光栅 量块 精密丝杠 【精密测试 激光器 激光测量 定位检测 精密仪器 激光干涉仪 精密测量 线纹尺 光栅 量块 精密丝杠】 2人
G01B9/02 G01B11/02
已下证
2020101137651 发明 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法
光学检测 激光测量 波长测量 精密测量 激光干涉仪 【光学检测 激光测量 波长测量 精密测量 激光干涉仪 】 2人
G01B9/02 G01B11/02
授权未下证