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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2019104451718 |
发明
硅抛光片或外延片层错及位错缺陷的无损检测装置及方法（特价15）
硅抛光片 【硅抛光片】 外延片层错 检测 芯片 硅加工 【硅抛光片 外延片层错 检测 芯片 硅加工】 1人 G01N31/00 G01N21/84 G01N17/00 G01N21/95 |
已下证 |
