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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2022106690560 |
发明
一种数据驱动的压电微驱动器无模型预测控制方法
电学技术 半导体制造 精密制造 芯片 光刻技术 集成电路 （电学技术 集成电路） 1人 G05B11/42 |
授权未下证 |
