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申请号 专利名称 专利状态 申请日 缴费截止日 授权日 更新日
2020110225276 发明 悬臂梁热电堆及其制备方法 特价15
热电转换器件 硅片加工 硅片清洗 硅片制备 芯片加工 增强拉曼效应 衬底材料 集成电路 线路板刻蚀 1人
H01L35/32 H01L35/34 H01L27/16
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