发明 一种数据驱动的压电微驱动器无模型预测控制方法
电学技术 半导体制造 精密制造 芯片 光刻技术 集成电路 （电学技术 集成电路） 1人
G05B11/42
摘要：本公开实施例中提供了一种数据驱动的压电微驱动器无模型预测控制方法，属于电学技术领域，具体包括：步骤1，给定压电微驱动器控制系统期望的参考轨迹；步骤2，输入初始控制信号进行初始采样并构建一阶张量积多项式逼近求解器求解一阶张量和二阶张量的列向量化表示；步骤3，根据一阶张量和二阶张量的列向量化表示对压电微驱动器进行动态线性化，得到逼近模型；步骤4，设计数据驱动无模型预测控制器并根据参考轨迹和逼近模型求解预测控制器，得到最优控制序列；步骤5，将最优控制序列的首个控制量作为下一步的最优控制输入控制压电微驱动器控制系统。通过本公开的方案，提高了控制效率、精准度和适应性。
