发明 一种晶粒抛光装置【半导体领域】
半导体器件 晶圆 硅晶片 半导体器件 晶圆 硅晶片 【半导体器件 晶圆 硅晶片】 【半导体 封装材料】 【半导体器件 晶圆 硅晶片 晶粒】 2人
B24B29/02 B24B41/00 B24B47/22 B24B41/06 B24B41/02
摘要：本发明公开了一种晶粒抛光装置，涉及一种抛光台，包括基座、抛光台，还包括夹持组件，夹持组件用于固定晶粒，夹持组件包括夹持部和与夹持部固定连接的支撑杆；升降组件，升降组件可调节夹持组件的高度。解决了人工手持可能会在剖光时出现误差，工作人员需要反复对剖光程度进行确认导致浪费时间的问题。
