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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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201810678354X |
发明
一种用于制备新材料的化学气相沉积装置
【新材料 气相】 新材料 化学 气相沉积 【新材料 化学 气相沉积】 1人 C23C16/455 C23C16/46 C23C16/52 |
已下证 |
