发明 一种用于制备新材料的化学气相沉积装置
【新材料 气相】 新材料 化学 气相沉积 【新材料 化学 气相沉积】 1人
C23C16/455 C23C16/46 C23C16/52
摘要：本发明涉及新材料生产设备领域，尤其是一种用于制备新材料的化学气相沉积装置，包括底座、导气机构、沉积管、夹持机构、种棒、旋转机构和两个加热机构，导气机构包括进气管、导气室和导气管，导气室内设有转轴、转盘、第一电机、驱动块、调节组件和两个扇叶，加热机构包括滑板、移动组件、氢氧焰喷灯、竖板、顶板、X射线发射器和X射线接收器。通过导气机构调节通入反应气体的用量，使装置随着运行时间的增加减小通入气体量，保证沉积反应的同时降低了设备生产成本，不仅如此，通过加热机构在沉积管的下方移动并进行沉积状况的检测，根据薄膜的附着状况控制滑板的移动，使得薄膜均匀沉积在种棒表面，提高了新材料的生产质量。
