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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2023235574415 |
实用
一种传送装置的干法刻蚀机
电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片 【电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片】 1人 B01D53/78 H01J37/32 B01D53/04 B01D46/88 |
已下证 |
