实用 一种传送装置的干法刻蚀机
电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片 【电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片】 1人
B01D53/78 H01J37/32 B01D53/04 B01D46/88
摘要：本实用新型提供一种传送装置的干法刻蚀机。所述传送装置的干法刻蚀机包括：干法刻蚀机本体，所述干法刻蚀机本体包括排气管；安装板，所述安装板设置在所述干法刻蚀机本体的一侧外壁上，所述安装板上设置有过滤箱，所述过滤箱内设置有过滤器，所述安装板上设置有吸附箱，所述吸附箱内设置有吸附器，所述安装板上设置有反应箱；两个风机，两个所述风机分别设置在所述吸附箱内和所述吸附箱的一侧外壁上，两个所述风机的进风端上均设置有连接管。本实用新型提供的传送装置的干法刻蚀机可以对使用过程中产生的废气进行多重步骤处理，有效的提高废气处理的效果。
