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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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202110556219X |
发明
一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置
【刻蚀机 蚀刻机 半导体刻蚀 芯片 集成电路 电路板 PCB板】 2人 H01L21/67 H01L21/683 H01L21/306 B08B3/04 |
已下证 |
