发明 一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置
【刻蚀机 蚀刻机 半导体刻蚀 芯片 集成电路 电路板 PCB板】 2人
H01L21/67 H01L21/683 H01L21/306 B08B3/04
摘要：本发明公开了一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置，属于湿法刻蚀用装置领域，一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置，本方案中，在磁性刻蚀件进行刻蚀的过程中，当磁性刻蚀件从刻蚀液中取出后，迅速对磁性刻蚀件表面的刻蚀液进行清洗，避免磁性刻蚀件表面存在的刻蚀液对磁性刻蚀件上已经形成的蚀痕进行侧蚀，不易造成加工废品，在加工过程中，利用磁性刻蚀件与连接柱轴心不共线的特点，在磁性刻蚀件自身重力作用下，使得磁性刻蚀件发生局部侧覆，使得磁性刻蚀件表面的刻蚀液及时滑落，可以实现大幅增加刻蚀的自动化加工程度，使得湿法刻蚀的时长严格安装预定的标准进行，增加湿法刻蚀的成功率，增加湿法刻蚀的加工效率。
