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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2020111372107 |
发明
光学邻近矫正模型构建方法、装置及计算机设备【特价15】
集成电路 半导体器件 光刻光学器件半 晶圆加工 导体芯片 芯片制造 1人 G03F1/36 G03F7/20 |
已下证 |
