|
|
申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
2019107971269 |
发明
一种光学邻近效应修正方法
半导体 （半导体） （半导体）已缴纳恢复费 （光刻机 半导体芯片 集成电路） 1人 G03F1/36 G03F7/20 |
已下证 |
