发明 一种光学元件损伤测试方法及装置【特价】 【优惠一千】
光学元件 显微镜 激光 光电 【光学元件 显微镜 激光 光电】 1人
G01N21/95 G01N21/94
摘要：本发明涉及光学元件损伤测试技术领域，尤其涉及一种新型光学元件损伤测试方法及装置。根据泵浦光获取成像光源一、成像光源二和成像光源三；由所述成像光源一生成元件表面损伤图像；由所述成像光源二生成元件表面图像；由所述成像光源三生成多张元件表面细节图像；根据所述元件表面损伤图像、所述元件表面图像、所述元件表面细节图像生成元件损伤整体图，并对所述元件损伤整体图上的损伤部位进行标记显示。本发明不仅能够清晰的区分出光学元件表面异物或损伤，而且能够得到详细的损伤区分图，降低对光学元件的维护困难程度，减少光学元件的维护成本。
