发明 一种基于石墨烯的微弱声波探测器
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G01H11/08
摘要：本发明涉及一种基于石墨烯的微弱声波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有压电材料层，所述压电材料层的上方设置有绝缘层，所述绝缘层的上方设置有石墨烯层,该声波探测器，通过声波传递到石墨烯层，产生形变，引起石墨烯层的介电常数发生变化，通过检测石墨烯层所加载的电压的变化，进行声波的检测；同时该声波探测器的压电材料层可以接收声波的震动，从而在其内部形成电场，该电场可以影响到石墨烯层的介电常数，从而实现石墨烯层的介电常数的调控；也可以通过入射光直接入射石墨烯层，使得石墨烯层的介电常数变化，对石墨烯层的介电常数进行调控。
