发明 一种自驱动光电探测器及其制备方法
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H01L31/108 H01L31/0352 H01L31/0336 H01L31/18
摘要：本发明公开了一种自驱动光电探测器及其制备方法，该自驱动探测器通过在n型半导体层和p型石墨烯层之间并排设置一绝缘层和隧穿层，其中绝缘层的厚度大于隧穿层的厚度，绝缘层阻隔n型半导体层与石墨烯层的接触；n型半导体层与石墨烯层之间形成肖特基结构的空间电荷区，利于电子与空穴快速分离，同时隧穿层修复了n型半导体层与石墨烯层之间的缺陷，抑制漏电，提高光电流，第一电极设置于绝缘层上方的石墨烯层上，第二电极设置于n型半导体层上，电子与空穴最终在第一电极和第二电极处被收集。该自驱动光电探测器的暗电流低、响应速度快、开/关电流比高，不需要外加电源工作，综合性能好，并且器件结构简单，易于制造。
