发明 一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器
气体传感器 空气检测 1人
G01N15/06 G01N27/12 B08B1/16 B08B1/32 B08B5/02
摘要：本发明适用于空气检测技术领域，提供了一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器，包括绝缘套框和贴合在绝缘套框顶部中间位置的顶盖，所述顶盖的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔，且顶盖的外围和绝缘套框的外围设置有同一个外壳，所述顶盖的两侧与外壳的两侧之间设置有拆装组件，所述绝缘套框的内部设置有MEMS气体传感器组装组件，所述顶盖的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机，本发明中形成较好的清理结构，避免高浓度粉末残留在气体传感器的表面以及内部严重影响传感器的持续使用以及多次利用，防止造成整个MEMS气体传感器不灵敏的现象，实现对敏感元件进行更换的效果，避免长期使用后敏感元件出现损坏造成无法工作的问题。
