发明 一种刻度可调的非接触式高精度长度测量系统
光学精密测量 工件测量 数据采集 光学投射 光学摄像机 测量技术 工业系统 工件切削 工件磨削 1人
G01B11/02
摘要：一种刻度可调的非接触式高精度长度测量系统，涉及光学精密测量领域。包括:光学测量投射模块，用于在被测量件表面形成明暗干涉条纹作为光学测量尺刻度；光学投射标识模块，用于在被测量件表面形成光谱标识作为光学测量尺刻度的标识；数据采集分析模块，用于采集被测量件、以及被测量件表面的干涉条纹、光谱标识的图像信息，并根据图像信息计算拟合出被测量件的尺寸。本发明利用激光干涉原理构建了一个无需与被测量件接触的条件下，可以几近实时精准地测量出工件尺寸的高精度光学测量尺的方案，并且几乎不会干扰工件的加工过程，这样就可以显著地提高生产效率。
