发明 一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置
单晶硅片 光伏 【太阳能电池晶体硅 太阳能发电光伏发电 硅单晶电池 单晶硅片 光伏板 清洁能源 太阳能板】 1人
H01L21/67 H01L21/68
摘要：本发明公开了一种防清洁死角的太阳能电池晶体硅清洗装置，包括：水槽、托盘组、以及用于提供高压气流的高压气流供给机构，其中：水槽的内侧壁上设有相对布置的第一滑槽、第二滑槽；托盘组包括至少一个托盘，且托盘的一侧设有第一滑块和远离第一滑块的一侧的第二滑块；托盘包括底板和若干个侧板，底板为镂空结构，底板的下方设有限位柱，各侧板均固定在底板的上方并在任意相邻的两个侧板之间预留间距以形成卡槽；各侧板的内均均设有夹腔，且各侧板上的夹腔通过管路彼此连通；任意相邻的两个侧板相互靠近的一侧侧壁上均设有与其夹腔连通的气孔；高压气流供给机构与所述管路可拆卸连接。本发明可以有效提高工件的清洗效果，且无清洗死角。
