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发明 一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法【特价】
生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀 【生物技术 微纳结构 手性结构 贵金属 电子束刻蚀】 2人
G02B1/00 G02B5/30 G03F7/00 G03F7/16 G03F7/20 G03F7/30 G03F7/40
摘要:本发明涉及手性微纳结构制备领域,具体涉及一种悬臂形圆二色性微纳结构及其制备方法,包括衬底层和微纳结构层,微纳结构层包括周期排布的手性单元,手性单元包括介质层和贵金属膜,贵金属膜置于介质层上,介质层和贵金属膜中设有孔洞,手性单元还包括第一悬臂和第二悬臂,第一悬臂和第二悬臂粘附在孔洞的部分侧壁上,第一悬臂和第二悬臂的材料与贵金属膜的材料相同,第一悬臂和第二悬臂的高度不同。一方面,通过第一悬臂和第二悬臂的高度差调控贵金属膜上的电荷振动,导致了强圆二色性;另一方面,本发明仅通过一次电子束刻蚀,再结合电子束蒸发倾斜镀膜技术即可获得,相对于双层三维结构的其他制备方法,制作流程简单,具有好的应用前景。
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  • 03-07
  • 11-21

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