发明 一种LED晶片清洗烘干装置
2人
H01L33/00 H01L21/67
摘要：本发明涉及一种LED晶片清洗烘干装置，包括操作台、转盘和烘干筒，所述操作台上方设有传送带A，所述操作台上设有数个用于刷去晶片表面颗粒物的可旋转的毛刷；所述毛刷一端位于操作台上，另一端位于传送带A上方，紧贴传送带A上表面；所述转盘一侧通过一铰链与上盖连接；所述转盘内部中央设有一转轴，所述转轴连接数个转叶；所述转盘底部设有多个排液孔；所述转盘通过一转移筒连接烘干筒；所述烘干筒内部设有一传送板B；所述转盘上方和下方均设有喷嘴。本发明可以解决在LED晶片生产过程中晶片表面被污染的问题。
