发明 一种连续真空镀膜智能生产控制方法及系统
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C23C14/54 G06F18/10 G06F18/241
摘要：本发明公开了一种连续真空镀膜智能生产控制方法及系统，涉及工艺生产的技术领域，该系统通过实时监测工艺室内的真空环境状态，提供抽空速度Cksd，气体释放模块监测基材表面镀膜完成后释放气体的过程中的相关差异变化数据信息，通过数据预处理，系统能够准确获取和分析薄膜表面的变化，包括解吸气体分子引起的差异，这有助于及时发现表面变化导致的涂层质量问题。镀膜分析模块通过计算真空程度因子Zkyz、室内环境系数Gjxs和回压影响系数Hyxs，并关联生成镀膜质量指数Zlzs，这一综合评估提供了对涂层质量全面与精准的分析，有助于确保产品性能和外观的一致性。通过生产质量控制模块判断当前室内回压状态和基材的涂层状况，确保不合格品率降低。
