发明 一种界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层及其制备方法
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C23C14/35 C23C14/06 C23C14/02
摘要：本发明公开了一种界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层，其特征在于，由ZrNiY复合靶材在基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的；所述基体为金属、硬质合金、陶瓷或单晶Si。制备方法为：将经抛光处理后的基体送入超声波清洗机，依次用无水酒精、丙酮进行清洗；然后将基体装进真空室，抽真空，用中频对基体进行离子轰击，即进行离子清洗；将基体置入多靶磁控溅射仪并停留在ZrNiY复合靶之前，通过磁控溅射反应沉积获得界面相为双金属的ZrNiYN纳米复合共格外延涂层，其具有超高硬度，可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。
