发明 一种用于矩阵排列芯片的不良品标记识别装置
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H01L21/67
摘要：本申请实施例提供一种用于矩阵排列芯片的不良品标记识别装置，所述装置包括：带动所述矩阵排列芯片的基板进行移动的移动装置，以及对所述基板上的各芯片进行图像采集的摄像头，所述移动装置令所述基板上的各芯片移动至光照条件理想区域，所述摄像头采集所述光照条件理想区域的各芯片图像，并将采集的各芯片图像拼接为所述基板的完整图像，针对所述完整图像识别出具有不良品标记的矩阵排列芯片。本申请实施例用以高效实现矩阵排列芯片的不良品标记识别，降低检测成本，且操作流程简单。
