发明 一种新型的扫描电子显微镜
显微镜 （显微镜） 1人
H01J37/02 H01J37/20 H01J37/22 H01J37/244 H01J37/28
摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括机架，所述机架内设置有试样板，所述试样板的顶端安装有扫描发生器，所述扫描发生器的一端设置有隔板，所述机架的外侧设置有真空管，所述机架的顶端安装有连接座，所述连接座上设置有镜筒，所述镜筒内设置有电子枪，所述机架内设置有支架。本发明在机架的内部设置有护罩，且通过护罩与物镜光闸的连接，可实现样品室内部的试样板上的样品的检测，进一步的增加扫描过程中的精准度，方便检测过程中的精度，从而更好的进行解析物品，在机架内部设置有隔板，且通过隔板可实现机架内部部分空间的隔绝，针对于试样板上进行全面的抽空，方便检测过程中的精度，防止外物的干扰，影响精度的问题。
