发明 一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法（光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具）
光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具 【光伏设备 光伏电池板 光伏发电 太阳能电池采用石墨舟作为载具】 2人
H01L21/66 H01L21/677 H01L21/687 H01L31/18
摘要：本发明公开了一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法，包括支架和可转动的传送带，传送带上设置有石墨舟，石墨舟内设置有硅片；支架滑动连接有第二活动板，第二活动板两端分别连接有激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器设置在石墨舟两侧；支架转动连接有第一丝杆，第一丝杆连接有第一电机，第一电机与支架固定连接，第一丝杆配合设置有第一丝母，第一丝母与第二活动板固定连接。本发明可检测石墨舟舟片有无变形、上料有无少片、翘片、下料有无翘片、掉片等异常，发现异常后及时人工干预处理或将硅片夹取，避免不良的产生，提高产线良品率，降低生产成本。
