发明 一种电容传感器及其制作方法
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G01D5/24 G01D11/00 G01D11/24 C23C16/44
摘要：本申请涉及传感器领域，尤其涉及一种电容传感器及其制作方法。一种电容传感器，其特征在于，包括多个并排设置的像素单元，像素单元包括硅衬底、结构层和钝化层；结构层设置于硅衬底的上表面，结构层包括顶层金属层和介质层；介质层设置于顶层金属层的下方，钝化层设置于结构层的上表面；顶层金属层设置一个或多个通孔，通孔为圆形；钝化层设置一个或多个凹槽，凹槽的对称轴与通孔的对称轴重合。通过在像素单元的顶层金属层设置圆形通孔，改善了由于湿热环境导致的芯片失效的问题。
