发明 基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜【无优惠】 【特价15】
光电技术 光电薄膜 热敏薄膜 【 光电技术 光电薄膜 热敏薄膜 】 2人
C23C14/08 C23C14/35 C23C14/54 C23C14/58 G01J5/00
摘要：本发明公开了基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜，涉及氧化物热敏薄膜技术领域，所述基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜是以稀土元素钒作为掺杂剂制备；所基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜包括衬底层和热敏薄膜层，所述热敏薄膜层沉积在衬底层上。通过上述方式，本发明优化结晶的同时适当减小薄膜电阻，降低材料热噪声；此外快速加热也可以减小因退火引起的氧空位增加量，有利于薄膜TCR的提高。
