发明 一种调整组件和机台【特价15】
半导体制程 半导体芯片 芯片制造 晶圆加工 光刻 集成电路 1人
H01L21/68 H01L21/67
摘要：本申请实施例提供了一种调整组件及机台，调整组件可以包括第一移动盘和第二移动盘，第一移动盘和第二移动盘纵向依次设置，第一移动盘具有纵向的第一通孔，第二移动盘具有纵向的第二通孔，第一通孔和第二通孔用于设置同一纵向的插销，第一移动盘可以置于第一方向的导轨上，在第一移动盘沿第一方向移动时，可以带动插销沿第一方向移动，第二移动盘可以置于第二方向的导轨上，在第二移动盘沿第二方向移动时，可以带动插销沿第二方向移动。由于第一移动盘和第二移动盘分别对应第一方向和第二方向的导轨，因此严格沿着第一方向和第二方向移动，第一方向和第二方向上的移动可以独立进行，不会互相干扰，安装时间较短，具有更好的便利性和调整准确性。
