发明 基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法
极子天线 通讯 半导体 无线电通信 移动通信卫星通信 4人
H01L21/04 H01L29/66 H01Q1/38 H01Q7/00 H01Q23/00
摘要：本发明涉及一种基于GaAs的频率可重构套筒偶极子天线的制备方法。该方法包括：选取GeOI衬底；在所述GeOI衬底表面生长GaAs材料；在所述GaAs材料上按照所述套筒偶极子天线的结构制作多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；利用多个所述SPiN二极管串制作所述天线臂和所述套筒；制作所述同轴馈线以连接所述天线臂及所述套筒，最终形成所述套筒偶极子天线。本发明实施例的套筒偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂及套筒长度的可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。
