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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2020111498266 |
发明
套刻误差量测标记结构及其制程方法和套刻误差量测方法【特价15】
半导体器件 光学器件 集成电路 半导体芯片 芯片制造 晶圆加工 光刻 1人 G03F7/20 G03F9/00 |
已下证 | ||||
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2020113029747 |
发明
套刻对准标记和套刻误差测量方法【特价15】
半导体芯片 半导体器件 集成电路 光学器件 芯片制造 晶圆加工 光刻 1人 H01L23/544 H01L21/66 G03F9/00 G01B15/04 |
已下证 |
