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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2018106459781 |
发明
镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法特价】 【无优惠】
镀膜腔室 【镀膜腔室】 镀膜腔室 镀膜 【镀膜腔室 镀膜】 2人 H01J37/32 C23C16/44 |
已下证 | ||||
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2021226237447 |
实用
一种等离子除胶装置（报过高企）
电子基板半导体 【电子基板半导体】 3人 H01J37/32 H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00 |
已下证 | ||||
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2023235574415 |
实用
一种传送装置的干法刻蚀机
电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片 【电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片】 2人 B01D53/78 H01J37/32 B01D53/04 B01D46/88 |
已下证 |
