实用 一种等离子除胶装置（报过高企）
电子基板半导体 【电子基板半导体】 3人
H01J37/32 H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00
摘要：本实用新型属于除胶装置技术领域，尤其是一种等离子除胶装置，针对现有等离子除胶装置使用不便的问题，现提出如下方案，其包括除胶装置，所述除胶装置为中空结构，所述除胶装置的内壁上滑动连接有框架，所述框架的顶部固定安装有齿条，所述除胶装置内设有两个链轮，两个链轮上套设有同一个链条，位于右侧位置的链轮的底部固定安装有带动齿轮，所述带动齿轮与齿条相啮合，所述除胶装置的顶部固定安装有定位盘，所述除胶装置的左侧转动连接有门板，所述门板为中空结构，所述门板的内壁上设有定位机构，本实用新型在门板上按动按动杆，按动杆可对门板进行解锁，然后再打开门板，门板就可将框架带出，方便对框架填充物品。
