发明 一种芯片检测装置及检测方法【需定金预留】
芯片检测 【芯片检测】 【半导体 电路板检测 集成电路 pcb板 芯片检测 晶圆晶片】 1人
G01R31/28 G01R1/04 B65G47/248
摘要：本发明公开了一种芯片检测装置及检测方法，属于芯片检测领域。一种芯片检测装置及检测方法，包括底座以及固定在其内腔中部的电动推杆，所述底座顶部滑动连接有检测台，所述电动推杆穿过检测台中心空槽，且所述电动推杆的伸缩端顶部外壁固定连接有检测载板，所述检测载板端部固定连接有检测探针；本发明通过压缩活塞上部腔体气体，带动翻转齿轮与定位杆旋转，使得定位环翻转一圈，即可对芯片的另一面进行电性检测，实现自动化的双面检测，有效提高了检测效率；通过压缩活塞盒底部腔体内的气体，使得吸附杆与芯片底部贴合，并利用其内部产生的负压作用，实现对芯片底部的吸附固定，提高了检测过程中芯片的稳定性。
