发明 一种键合金丝清洗装置及其工艺【特价】
键合金丝 半导体零件 半导体原料 球焊金丝 连接线材料 集成电路 半导体器件 1人
B08B3/02 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/02 G01B21/30 B08B3/08 B08B13/00 B24B5/38
摘要：本发明涉及键合金丝加工技术领域，且公开了一种键合金丝清洗装置及其工艺，该键合金丝清洗装置，包括壳体和键合金丝，壳体上设置有输送机构用于输送键合金丝；壳体上设置有测试机构用于对键合金丝的表面进行光滑测试，测试机构包括设置于壳体上的第一安装座，第一安装座内周向转动设置有若干个转板，通过若干个转板构成与键合金丝表面契合的完整圆环；壳体上沿键合金丝的输送方向依次设置有两个输液机构分别用于对键合金丝进行酸洗和水洗；该键合金丝清洗装置及其工艺，在键合金丝输送过程中进行光滑测试，在表面某处测得凸起不平时才触发酸洗、水洗及打磨流程，从而实现精准清洗。
