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发明 一种柔性透明太阳能水解光电极及其制备方法
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C23C14/08 C23C14/35 C23C14/28 C25B1/04 C25B1/55 C25B11/053 C25B11/091 C25B11/067
摘要:本发明公开了一种柔性透明太阳能水解光电极及其制备方法,该制备方法包含:(1)以氧化锌作为靶材,以白云母作为基板,采用磁控溅射法在基板上制备氧化锌缓冲层;(2)将镀有氧化锌缓冲层的基板在真空环境下热至400℃,并通入1:1的氩气和氧气的混合气体,以50W的功率预镀,然后以氧化铟锡为靶材采用磁控溅射法在基板上制备氧化铟锡层;(3)以钛酸锶为靶材,利用脉冲激光沉积法在基板上制备钛酸锶薄膜。本发明的方法制备的光电极在可见光范围内透光率为60~80%,而且柔性很好。
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  • 03-19

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