发明 一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法
【导电薄膜】 2人
H01B5/14 C23C14/35 C23C14/08 C23C14/18 B32B15/04 B32B15/20
摘要：本发明涉及功能薄膜材料的技术领域，特别是涉及一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法，该透明导电薄膜为BaSnO3/Cu/BaSnO3的夹层结构，即包括依次层叠的BaSnO3薄膜层、Cu薄膜层和BaSnO3薄膜层。该夹层结构透明导电薄膜的制备方法包括：步骤一，将BaSnO3靶材和Cu靶材装入磁控溅射系统的腔体内；步骤二，在衬底上进行沉积得到BaSnO3薄膜层；步骤三，在BaSnO3薄膜层上溅射Cu薄膜层；步骤四，在Cu薄膜层上溅射BaSnO3薄膜层，制得夹层结构透明导电薄膜。该夹层结构透明导电薄膜具有成本低、电阻率低、导电性能好、厚度薄、化学稳定性好、且与衬底之间的吸附性强的优点。
