发明 一种银銦镓硒薄膜及其制备方法和应用
半导体材料 第三代半导体 【半导体材料 第三代半导体】 宽禁带半导体材料 第三代半导体材料】 3人
H01L31/032 H01L31/0392 B82Y30/00
摘要:本发明公开了一种银铟镓硒薄膜,包括衬底,衬底的表面上依次涂覆有Ag2Se纳米颗粒层、Ga2Se3纳米颗粒层及In2Se3纳米颗粒层。该银铟镓硒薄膜具有电子漂移饱和速度高、介电常数小、导电性能好的特点,同时,采用它制作的光伏电池具有光电转换效率高,开路电压大的特点。本发明还公开了该银铟镓硒薄膜的制备方法及应用。该银铟镓硒薄膜的制备方法通过研磨步骤,配置浆料步骤,涂覆步骤,加热及退火处理步骤制备得到,首次采用非真空方法制备银铟镓硒薄膜,与传统的真空方法相比,具有制备过程简单,制备效率高,价格低廉等优点,适合大面积制备AIGS薄膜。