发明 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置
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B24B7/22 B24B41/06 B24B41/02 B24B41/00
摘要：本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置，其可以方便对多组单晶硅棒进行同时磨方处理，缩短耗时；可以方便控制滚磨与单晶硅棒之间的距离，减少磨方失误，减少资源的浪费；并且其可以方便控制单晶硅棒准确旋转90度；包括电机、传动轴和滚磨；还包括底座、四组支腿、两组支撑柱、顶板、底板、多组支撑杆、多组固定座和两组调节螺纹杆，两组调节螺纹杆底端分别设置有两组旋转板；还包括移动板、左移动轨道、右移动轨道、保护壳、两组连接轴、两组左滑轮、固定轴和右滑轮，保护壳右侧壁设置有挡盖；还包括多组齿轮、多组连接杆、多组固定板、压板、多组方形插杆和两组固定弹簧。
