实用 一种带磨平装置的激光刻蚀机
电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片 【电子光学仪器 刻蚀机 工业机械 光刻机 晶圆 半导体 集成电路 芯片】 2人
B23K26/362 B23P23/00 B24B9/06 B24B9/04 B24B7/10 B24B41/04 B24B47/12
摘要：本实用新型提供一种带磨平装置的激光刻蚀机。所述带磨平装置的激光刻蚀机包括：底座；两个固定块，两个所述固定块均固定安装在所述底座上；两个滑槽，两个所述滑槽分别开设在两个所述固定块上；龙门架，所述龙门架滑动安装在两个所述滑槽上；刻蚀机构，所述刻蚀机构设置在所述龙门架上；工作台，所述工作台固定安装在所述底座上，所述工作台与所述刻蚀机构对应设置；支撑板，所述支撑板转动安装在所述工作台上，所述支撑板与所述底座相接触；两个电动滑轨，两个所述电动滑轨分别固定安装在所述支撑板上。本实用新型提供的带磨平装置的激光刻蚀机具有对材料表面进行打磨，防止影响激光刻蚀机工作运行的优点。
