实用 一种用于探针机的晶圆承载台
晶圆承载台 探针台 半导体 光电 集成电器 1人
G01R1/04 G01R31/28 H01L21/66 H01L21/687
摘要：本实用新型公开了一种用于探针机的晶圆承载台，包括台体，所述台体上端面中间位置开设有圆槽，所述台体上端面以顶块为中心阵列开设有至少六个限位槽，所述限位槽内均滑动连接有滑动块，所述滑动块上端穿出限位槽的位置固定连接有限位块，台体内部远离圆槽的一侧靠近限位槽的位置均开设有安装腔，所述安装腔和限位槽之间均开设有连接孔，所述安装腔内安装有用于调整滑动块位置的调整组件；本实用新型通过设置的调整组件，可在使用时对滑动块和限位块的位置进行同步调整，进而避免了会出现限位块的调整不一致导致的中心位置偏离的情况。
