发明 一种旋转型芯片卡具的使用方法
芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 2人
H01L21/687
摘要：本发明提供了一种旋转型芯片卡具的使用方法，其特征在于，包含如下步骤：第一步，卡具固定；第二步，放置芯片；第三步，位置对零；第四步，位置聚焦；第五步，加工雕刻；第六步，倾斜加工。本发明的有益效果是，首先解决了芯片的固定问题；其次卡具拥有倾斜、旋转、伸缩、水平移动四个功能，帮助操作人员对芯片多方位多角度加工；并且装置具有显示移动位置、旋转角度的功能，方便操作人员随时取出芯片检查后，对其继续加工。
