发明 一种带倾角旋转型芯片卡具
芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 2人
B23K26/362 B23K26/70
摘要：本发明提供了一种带倾角旋转型芯片卡具，由固定区、旋转区、伸缩区、移动区四部分组成，其特征在于：芯片固定区中弹性装置可以根据芯片的大小进行伸缩调节，满足不同型号芯片的加工；旋转区能够改变芯片加工角度；伸缩区既可以伸缩还起到支撑作用，保证装置的稳定性。移动区能够满足操作平台在二维空间的有效移动。该装置具有显示移动位置、旋转角度的功能，方便操作人员随时取出芯片检查加工情况，并复位对其继续加工。
