发明 一种机台污染监测装置及加工设备【特价15】
芯片制造 集成电路 光学器件 半导体晶圆 晶圆加工 半导体芯片 光刻 1人
H01L21/67
摘要：一种机台污染监测装置及加工设备，涉及半导体加工设备技术领域。该机台污染监测装置包括多个监测模组和分别与监测模组电连接的控制器，多个监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内，用于采集每个操作机台内的污染物信息，控制器用于接收每个监测模组采集的污染物信息，并根据每个操作机台的污染物信息判定每个操作机台是否处于污染状态。该机台污染监测装置能够提高机台的污染检查效率。
