发明 槽体自动开关盖机构及其工作方式
半导体 湿式制程设备 6人
H01L21/67
摘要:本发明公开了槽体自动开关盖机构及其工作方式,包括第一侧板及其平行设置的第二侧板,所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板,所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架,两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接,所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸。本发明中,通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡,开启和关闭占据的空间小,便于工人操作;过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合,实现第一盖板和第二盖板之间的密封,通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠,实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封,保证槽体端口的密封性。