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发明 一种基于一维衍射的超薄平行光源【特价】
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F21S2/00 G02B5/18
摘要:本发明公开一种基于一维衍射的超薄平行光源,该平行光源包括依次平行设置的发光光源、周期性狭缝光阑和第一周期性一维菲涅尔区相位修正平面。相对现有双远心结构的平行光源,本发明的基于一维衍射的超薄平行光源的轴向距离小、重量轻、成本低,且易于装配大面积平行光源,可以用于大尺寸物体的一维高精度测量。
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  • 04-25

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